Bộ phận gốm cho thiết bị Implanter

Tính năng nổi bật của bộ phận gốm trong thiết bị Implanter

• Cấu trúc bền chắc, chịu nhiệt và áp lực cao
  Các chi tiết gốm có độ ổn định cơ học vượt trội, không biến dạng khi làm việc trong môi trường cực đoan.

• Gia công chính xác và đồng nhất vật lý
  Với độ song song cao, mật độ vật liệu đồng đều và tổ chức hạt tốt, các bộ phận này giữ được độ chính xác cần thiết trong hoạt động.

• Gia công theo bản vẽ hoặc yêu cầu riêng
  Có thể sản xuất các chi tiết như ống gốm, trục, đĩa, vòng, cánh tay gốm, vacuum chuck vi lỗ, ray gốm, và các mảnh hình dạng đặc biệt theo từng bản vẽ kỹ thuật.

Vai trò trong quy trình Implanter

Các bộ phận gốm được sử dụng để:

• Bảo vệ các thành phần chuyển động và điều chỉnh trọng lực
  Các chi tiết như cánh tay, vacuum chuck giúp wafer được giữ chắc chắn, di chuyển chính xác và không bị tổn thương.

• Giảm thiểu nhiễm bẩn và ảnh hưởng từ môi trường
  Gốm không sinh bụi và không phản ứng với hóa chất, giúp phòng tránh tạp chất và bảo vệ wafer ở mức tối đa.

• Đạt hiệu suất cao trong môi trường xử lý cao cấp
  Chịu được nhiệt độ và plasma cao, phù hợp với các công nghệ tiên tiến như EUV, CMP và xử lý implant sâu.

Lợi ích khi sử dụng bộ phận gốm trong Implanter

• Giảm lỗi sản xuất: Ít hỏng hóc, giữ sạch wafer và tăng tỷ lệ thu hồi sản phẩm (yield).

• Tăng độ bền và ổn định: Tuổi thọ sản phẩm kéo dài, ít phải bảo trì.

• Đảm bảo hoạt động không gián đoạn: Giúp nâng cao hiệu quả máy móc trong dây chuyền tự động cao.

• Thân thiện với môi trường sạch: Thiết kế giảm sát và ma sát phù hợp với quy chuẩn cleanroom nghiêm ngặt.

Tóm lược ưu điểm

Các bộ phận gốm dành cho thiết bị Implanter không đơn thuần là phụ kiện—chúng là yếu tố bảo đảm độ chính xác và năng suất cao trong toàn bộ quy trình xử lý wafer.