Bộ phận gốm vi mô chính xác

Đặc điểm nổi bật

• Độ chính xác cơ khí cao: Được gia công với dung sai cực nhỏ, đảm bảo tính ổn định trong từng chuyển động vi mô.

• Chịu nhiệt, chịu ăn mòn và cách điện tốt: Thích hợp cho môi trường chân không, plasma, nhiệt độ cao hoặc có hóa chất ăn mòn.

• Vật liệu đa dạng: Alumina, Zirconia, Silicon Nitride, Silicon Carbide – mỗi loại phù hợp với ứng dụng cụ thể.

• Bề mặt siêu mịn – không phát sinh bụi: Rất phù hợp cho môi trường phòng sạch cấp độ cao trong nhà máy bán dẫn.

Ứng dụng trong ngành bán dẫn

Bộ phận gốm vi mô được sử dụng rộng rãi trong các hệ thống thiết bị xử lý wafer nhờ những tính năng vượt trội như:

• Dẫn và căn chỉnh wafer: Các chi tiết như chuck, arm, pin hoặc bệ đỡ được làm bằng gốm vi mô giúp xử lý chính xác vị trí wafer trong suốt quy trình photolithography, etching, doping…

• Cách ly điện và nhiệt: Dùng làm vật liệu cách ly trong hệ thống plasma hoặc buồng chân không, bảo vệ các bộ phận điện tử nhạy cảm.

• Chi tiết cơ cấu truyền động siêu nhỏ: Ứng dụng trong hệ thống robot bán dẫn, giúp thao tác wafer mà không tạo nhiễu cơ học hoặc tĩnh điện.

• Bảo vệ khỏi nhiễm bẩn: Nhờ bề mặt mịn và cấu trúc ổn định, bộ phận gốm giúp kiểm soát môi trường sạch và giảm thiểu lỗi sản phẩm.

Lợi ích vượt trội

Tổng kết

Mặc dù kích thước rất nhỏ, bộ phận gốm vi mô chính xác lại là yếu tố then chốt giúp đảm bảo độ chính xác, độ sạch và độ ổn định cho toàn bộ dây chuyền sản xuất bán dẫn. Việc đầu tư vào những linh kiện này không chỉ tăng năng suất mà còn góp phần nâng cao chất lượng và tuổi thọ thiết bị trong ngành công nghiệp công nghệ cao.