Cánh tay gốm cho ổ đĩa wafer

Vì sao cánh tay gốm là lựa chọn tối ưu trong sản xuất bán dẫn?

1. Chịu nhiệt và cơ học vượt trội
   Cánh tay gốm có cấu trúc bền chắc, chịu được nhiệt độ cao và áp lực lớn, không biến dạng khi tiếp xúc với plasma hoặc môi trường ăn mòn.

2. Kháng hóa chất và chống nhiễm bẩn
   Vật liệu gốm không bị phản ứng với hóa chất, không tạo bụi hay tạp chất, giúp duy trì môi trường sạch tuyệt đối – điều kiện bắt buộc trong sản xuất chip bán dẫn hiện đại.

3. Cách điện và giảm tĩnh điện
   Gốm là vật liệu không dẫn điện, giúp tránh phát sinh tĩnh điện gây hư hỏng wafer trong quá trình thao tác.

4. Độ chính xác vi mô
   Cánh tay gốm được gia công tinh xảo, đạt độ chính xác đến ±0.001 mm, bề mặt hoàn thiện mịn (Ra 0.1), đảm bảo định vị wafer đúng vị trí trong mọi thao tác tự động.

Ứng dụng thực tế trong dây chuyền bán dẫn

Lợi ích khi sử dụng cánh tay gốm trong bán dẫn

• Tăng tỷ lệ thành phẩm (yield): Giảm hư hỏng cơ học và ô nhiễm wafer.

• Ổn định quy trình: Vận hành mượt mà trong hệ thống tự động hóa chính xác cao.

• Giảm chi phí vận hành: Tuổi thọ dài, chống hao mòn, giảm thời gian bảo trì.

• Phù hợp công nghệ tiên tiến: Hỗ trợ các dây chuyền xử lý EUV, 3D IC, chip dưới 5 nm…

Tổng kết

Cánh tay gốm không chỉ là một chi tiết cơ khí, mà là yếu tố cốt lõi góp phần vào thành công của toàn bộ hệ thống xử lý wafer. Với khả năng chịu nhiệt, chống nhiễm bẩn, cách điện và độ chính xác cao, thiết bị này đảm bảo an toàn cho wafer trong suốt quá trình sản xuất bán dẫn khắt khe.

Đối với các nhà máy đang hướng đến công nghệ vi mạch tiên tiến, tự động hóa sạch và độ chính xác tuyệt đối, cánh tay gốm là lựa chọn không thể thiếu để tối ưu năng suất và chất lượng sản phẩm.