Đặc điểm nổi bật của sản phẩm kết hợp gốm – kim loại
-
Tăng khả năng chịu cơ, nhiệt và hóa chất
Sự kết hợp giữa gốm (như alumina, zirconia, silicon carbide, silicon nitride) với kim loại tạo nên cấu trúc vững chắc có khả năng duy trì độ ổn định ngay cả khi tiếp xúc với môi trường plasma, hóa chất ăn mòn, hay nhiệt độ cao. -
Gia công chính xác đa vật liệu
Các linh kiện kết hợp gốm – kim loại được sản xuất theo yêu cầu kỹ thuật từ bản vẽ, sử dụng quy trình từ xử lý nguyên liệu đến tạo hình, mài và khoan bằng CNC, đảm bảo dung sai và bề mặt đạt mức vi chuẩn. -
Tối ưu hiệu năng tổng thể
Kết cấu hybrid cho phép khai thác ưu thế của cả 2 vật liệu: độ bền và cách điện từ gốm; độ dẻo và tính liên kết cơ học từ kim loại – từ đó tăng hiệu suất vận hành của thiết bị.
Ứng dụng trong sản xuất bán dẫn
Vị trí sử dụng | Vai trò chính |
---|---|
Thiết bị implant, etching, phủ màng (CVD, PVD) | Không bị biến dạng, chịu nhiệt và hóa chất, bảo vệ wafer |
Cơ cấu dẫn động, khung xoay, khớp nối | Cung cấp độ cứng, ổn định cơ học và khả năng định vị cao |
Chuck chân không / khung giữ wafer | Vững chắc, cách điện, không sinh bụi – phù hợp môi trường cleanroom |
Bộ phận kết nối đa vật liệu | Khắc phục giới hạn từng vật liệu đơn – tăng tuổi thọ và độ chính xác thiết bị |
Những lợi ích vượt trội
-
Độ bền cao trong môi trường khắc nghiệt
Không bị ăn mòn, không dẫn nhiệt quá mức, chịu lực tốt – phù hợp với bước xử lý chân không và plasma. -
Độ chính xác và ổn định vận hành
Gia công với dung sai thấp, bề mặt chất lượng cao – đảm bảo ổn định trong các ứng dụng vi mô. -
Giảm lỗi sản phẩm và downtime
Thiết kế nhân đôi chức năng giữa gốm và kim loại giúp tăng tuổi thọ và giảm chi phí bảo trì. -
Tương thích công nghệ bán dẫn hiện đại
Phù hợp cho các dòng wafer tiên tiến, chip dưới 5 nm, xử lý EUV, 3D stacking và quy trình tự động hóa cao.
Kết luận
Các linh kiện kết hợp giữa gốm chính xác và kim loại tuy nhỏ nhưng lại đóng vai trò nền tảng trong việc đảm bảo hiệu suất, độ tin cậy cũng như tuổi thọ cho thiết bị sản xuất bán dẫn. Đầu tư vào giải pháp hybrid vật liệu này là hướng đi chiến lược để tối ưu quá trình sản xuất chip thương mại và nâng cao năng lực cạnh tranh.
Các sản phẩm khác tại HAQ Tech >>> click xem ngay !
Mọi chi tiết xin liên hệ:
-
Công ty Cổ phần HAQ
Địa chỉ: Số 146, Lê Quang Đạo, Phú Đô, Nam Từ Liêm, Hà Nội -
Hotline tư vấn: 0966 525 429
-
Email yêu cầu báo giá / kỹ thuật: sales01@haq.vn
* Chúng tôi cung cấp mọi mẫu mã theo yêu cầu khách hàng. *