Ưu điểm nổi bật của linh kiện gốm dạng đặc biệt
-
Khả năng tùy chỉnh cao: Gia công theo bản vẽ với các dạng cấu trúc độc đáo, từ chi tiết nhỏ đến các bộ phận đa trục, thích hợp cho thiết bị phức tạp trong sản xuất chip.
-
Gia công chính xác đến micromet: Phù hợp với các quy trình mài phẳng, khoan NC, lapping, polishing với dung sai siêu nhỏ, đảm bảo chất lượng bề mặt và độ hoàn thiện cao.
-
Chịu nhiệt, chống ăn mòn và cách điện tốt: Các chi tiết gốm giữ ổn định trong môi trường nhiệt độ cao, plasma, hoặc hóa chất xử lý wafer.
-
Độ bền cơ lý cao, ổn định lâu dài: Gốm có tổ chức vật liệu đồng đều, mật độ cao – đảm bảo hiệu quả lâu dài và ít cần bảo trì.
Ứng dụng trong sản xuất bán dẫn
Ứng dụng | Vai trò chính |
---|---|
Các thiết bị lithography, etching, CVD, implant | Hình dạng tùy chỉnh phục vụ xử lý chính xác trong môi trường đặc thù |
Các chi tiết cơ khí kết hợp | Sự linh hoạt trong thiết kế giúp tích hợp vào khung máy, robot, chuck gốm… |
Bộ phận chịu nhiệt & cách điện | Thay thế kim loại trong môi trường sạch và khắc nghiệt, đảm bảo độ tin cậy thiết bị |
Linh kiện hỗ trợ wafer | Giúp định vị, cố định và bảo vệ wafer qua các bước xử lý đa dạng |
Lợi ích trong thực tế
-
Đáp ứng yêu cầu kỹ thuật vi mô – thích hợp công nghệ wafer module, chip sub‑5 nm, EUV…
-
Tăng năng suất và giảm lỗi sản phẩm – nhờ độ chính xác cao và bề mặt sạch.
-
Giảm chi phí vận hành dài hạn – tuổi thọ cao, ít thay thế, bảo trì tối thiểu.
-
Tương thích môi trường cleanroom nghiêm ngặt – không sinh tạp, không phát tĩnh điện.
Kết luận
Mặc dù kích thước có thể nhỏ hoặc thách thức về hình dạng, nhưng các linh kiện gốm chính xác với hình dạng đặc biệt đóng vai trò then chốt trong việc nâng cao độ chính xác, chất lượng và hiệu quả của quy trình sản xuất bán dẫn. Đây là lựa chọn chiến lược cho các đơn vị hướng đến công nghệ chip tiên tiến và hoạt động tự động hóa cao.
Các sản phẩm khác tại HAQ Tech >>> click xem ngay !
Mọi chi tiết xin liên hệ:
-
Công ty Cổ phần HAQ
Địa chỉ: Số 146, Lê Quang Đạo, Phú Đô, Nam Từ Liêm, Hà Nội -
Hotline tư vấn: 0966 525 429
-
Email yêu cầu báo giá / kỹ thuật: sales01@haq.vn
* Chúng tôi cung cấp mọi mẫu mã theo yêu cầu khách hàng. *